试述离子束加工的基本原理，特点和主要应用？(1)【◆题库问题◆】：[问答题] 试述离子束加工的基本原理，特点和主要应用？
【◆参考答案◆】：
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
(2)【◆题库问题◆】：[问答题] 试述离子束加工的基本原理，特点和主要应用？
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离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
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离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
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离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
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离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
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离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
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离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
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离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
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离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
(10)【◆题库问题◆】：[问答题] 试述离子束加工的基本原理，特点和主要应用？
【◆参考答案◆】：
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工
离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形等极小、加工精度高。4.离子束加工设备费用高、成本贵、加工效率低。
主要应用：1.刻蚀加工；2.镀膜加工；3.离子注入加工